鉭酸鋰(LiTaO3)拋光液

「上海新創納電子科技有限公司」開發了鉭酸鋰拋光液系列產品，主要包括LT-01、LT-02、LT-1915、LT-1901、LT-1902等系列。目前廣泛應用于國內各大鉭酸鋰晶體晶圓廠家，市場占有率7成以上，歡迎電話咨詢：186-2157-4686（李博士）。

鉭酸鋰(LiTaO3，簡稱LT)晶體，是集壓電、鐵電、熱釋電、聲光及電光等性能于一體的多功能晶體材料，在聲表面波(SAW)器件、光通訊、激光及光電子等領域中有著廣泛的應用，是制作濾波器和諧振器的關鍵材料。

酸性鉭酸鋰拋光液

優點：

1、拋光速率大于15μm /h。

2、拋光表面平整光滑，無明顯劃傷，表面粗糙度達到0.2nm以下。

3、酸性拋光液，拋光速率較快。

應用：鉭酸鋰等晶圓拋光。

堿性鉭酸鋰拋光液

優點：

1. 拋光速率大于10μm/h 。

2. 拋光表面平整光滑，無明顯劃傷，表面粗糙度達到0.15nm以下。

3. 堿性拋光液，拋光后的的表面質量較好。

主要指標：LTV<0.5, TTV<3, Ra<0.3。

應用：鉭酸鋰等晶圓的精拋。